ワンショット3D形状測定機
- 対象物に対して縞模様の光を当てます。
- 対象物の凹凸に応じて縞模様が歪みます。
- 反射光をCMOSで受光し、三角測距を用いて縞模様の歪みから対象物の形状を求めます。
| 長所 | 短所 |
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ワンショット3D形状測定機は、主に触針式の輪郭形状測定機で測定する物を非接触で計る測定器です。ミリ～十ミクロン前後の測定を得意とし、1秒程度で数ミリ角の範囲が測定できるという驚異的な手軽さが特長です。白色LEDを使って特殊な縞模様を投光することで、高精度に粗さ、うねり、形状の測定が可能です。高感度CMOSを搭載しているので、形状と同時に外観写真も取り込むことができ、観察と測定が同時に行えます。
原理上光を斜めに入れるため、陰や側面になる部分のデータは取れない他、レーザー顕微鏡やAFMのような超高精度の測定には使用できません。
