代表的な測定機器の原理と特徴
表面粗さ・形状を測定、解析する評価機器として、様々な原理の測定機器が市販されています。
ここでは、接触式測定器の代表として表面粗さ計と原子間力顕微鏡(AFM)、非接触式測定器の代表として白色干渉計とレーザー顕微鏡の原理と特徴を紹介します。
| 方式 | 接触式 | 非接触式 | ||
|---|---|---|---|---|
測定器 |
接触式 粗さ計 |
原子間力顕微鏡(AFM) |
白色干渉計 |
レーザー顕微鏡 |
測定分解能 |
1nm |
<0.01nm |
<0.1nm |
0.1nm |
高さ測定レンジ |
～1mm |
<10μm |
<数mm |
<7mm |
測定領域 |
数mm |
1〜200μm |
40μm〜15mm |
15μm〜2.7mm |
角度特性 |
- |
× |
△ |
○ |
データ解像度 |
- |
VGA相当 |
VGA相当 |
SXGA相当 |
測定箇所の 位置決め |
- |
オプション |
光学カメラ内蔵 |
光学カメラ内蔵 |
サンプルへの ダメージ |
接触 |
接触 |
非接触 |
非接触 |
