用語集

アース

地面に電極を埋め込み、電気が大地に流れる様にしたもの。広義には、「ある回路において基準とみなす電位」という意味で使うこともある。別名：接地。

アースバンド

人体の帯電防止用の器具。別名：リストストラップ。

I.C.C.制御

キーエンス独自の制御方式で、除電器から発生しているイオン量をセンシングし、帯電物に応じたイオンを供給したり、帯電物がない場合にイオンバランスを自動で調整する機能。Ion Current Controlの略。

IEC

International Electrotechnical Commission(国際電気標準会議)の略で、電気分野における、国際標準化機関

ESD

Electrostatic Discharge(エレクトロスタティック ディスチャージ)の略。
IC用語。ICに発生又は印加した静電気。及びそれによるICの破壊を表す。

ESD/EOS規格

電気的オーバーストレス、静電気放電に関する米国の規格。

イオナイザ

除電を行う装置。除電器ともいう。

イオン

分子が電離した状態で、原子がプラスもしくはマイナスの電荷を帯びた状態。

イオン電流

コロナ放電を発生させている際にコロナ放電に伴って流れる電流。

イオンバランス

帯電物をどれだけ0Vに近い状態に近づけることができるか、または、0Vをどれだけキープできるかを表した、除電器(イオナイザ)の能力。

イオンモニタ

帯電物の帯電状況を表現したモニタ。

引力

引き合う力。

ULPAフィルタ

Ultra Low Penetration Airフィルターの略。定格流量で粒径が0.15μmの粒子に対して99.9995％以上の粒子捕獲率をもつエアフィルタ。半導体工場の様な高い清浄度が要求されるクリーンルームや生産装置等に使用される超高性能フィルタで、HEPAでは除去できない0.1μｍ程度の微少粒子も除去できる。効率を良くするためHEPAフィルターと比べ、濾材密度を高くし、空気抵抗を下げるため濾材を薄くした製品がULPAフィルターである。

エアパージ

圧縮空気などを使って、空気を噴出し、粉塵の付着等を防止する方法。

AC方式

除電器(イオナイザ)の電圧印加方式の一種で、電極針に対して交流(AC)の高電圧を印加する方式。別名：交流方式

オゾン

オゾン(O₃)とは空気中の酸素(O₂)が化学反応で変化した物質。(気体)

界面活性剤

水に溶けて水の表面張力を低下させる作用を界面活性といい、少量で著しい界面活性を示す物質を界面活性剤という。石鹸は界面活性剤の一つ。
水に溶けにくい物質(たとえば油)を溶かしたり、個体の濡れ方を変えたりする作用を持つので、泡立て剤、乳化剤、分散剤、湿潤剤などとして用いられる。洗剤はこれらの作用の総合効果。

加湿

湿度を上昇させる行い。

C.A.B.構造

キーエンス社製、除電バーSJシリーズに搭載されている電極針の構造で、除電能力UPと電極針先端へのゴミの付着量を低減する効果がある。

鏡像電荷

導体に電荷Qが接近したときに、静電誘導によって発生する電荷であり、ちょうど導体表面を鏡に見立てた場合に接近してきた電荷Qが鏡に写った虚像と同じ位置にあるため鏡像電荷という。

クーロンの法則

ある帯電体に別の帯電単を近づけると、お互いに引き合ったり、反発しあったりするが、このときの電荷量と力の関係を表す法則をクーロンの法則と言い、その作用力をクーロン力という。

クーロン力

帯電体に別の帯電体を近づけたときに発生する力のこと。

クリーン度

クリーンルームの清浄度を現す数値で、1ｍ³中に含まれる粒子の数を表している。

原子

あらゆる物質を形作る最小の単位。

原子核

原子の中心にあり、正の電荷を持つ陽子と電荷を帯びていない中性子からなるもの。

高圧電源

高電圧を発生させる電源。

高電圧

±数kVといったように非常に高い電圧。

交流方式

除電器(イオナイザ)の電圧印加方式の一種で、電極針に対して交流(AC)の高電圧を印加する方式。別名：AC方式。

コロナ放電

針のように非常に極小な部分に高電圧を印加したときに発生する現象で放電の一種。

CEマーキング

EU統合により欧州域内で特定の製品を自由に流通させる上で貼付けが義務付けられたマークのことで、EU指令で規定されている安全性などの要求事項にすべて適合していることを示すものです。

自己放電式

特に電源を必要とせず、帯電物の電気を利用してコロナ放電を発生させるイオナイザ。

湿度

大気中に含まれる水蒸気量を単位体積あたりのパーセンテージで表したもの。

周波数

繰り返し動作を行う際の1秒間あたりの回数。

除電

帯電物を電気的に中和させること。

除電器

除電を行う装置。イオナイザともいう。

除電時間

ある一定の電圧から所定の電圧まで除電するまでにかかる時間。

静電気

静かにじっとしている電気。かと思うと突然動き出して雷鳴をとどろかすこともある。
塩化ビニールの下敷きに髪の毛が吸い寄せられたり、冬場の乾燥した時期にドアのノブに手をふれた際にビリッときたりするのは静電気が原因。静電気の特徴(物を吸い寄せる、火花が飛ぶ)が観測された場合、通常その周囲には数万ボルト以上に及ぶ電圧が発生している。

静電気障害

静電気によって発生する障害。例えば、電子部品やICの静電破壊やゴミの付着、小物部品の搬送トラブル、人の不快感などがある。

静電気防止靴

導電性を持たせた靴。人体の帯電防止用に使用される。

静電気防止服

衣服がこすれあって発生する静電気を防止するために、導電性の繊維等を織り込んで作られた衣服。クリーン服等。

静電気放電

静電気が帯電した物体から、静電気が放電する現象。

静電気力

静電気によって発生する力。同じ極性同士の場合は斥力、異極性の場合は引力が発生する。

静電破壊

静電気が放電することによって発生する、電気、電子部品の破損及び劣化。

静電誘導

導体に帯電物を近づけると、導体内部で発生する現象で、ちょうど帯電物が近づいてくる面に帯電物と逆極性の電荷を帯びる現象。
(導体内部の電子が移動することによって、導体表面に極性ができる。)

静電容量

コンデンサなどにおいて、どのくらい電荷が蓄えられるかを表す量。

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1. 静電容量の求め方

斥力

反発しあう力。

絶縁

電気を流さない状態。

絶縁体

電気を流すことのできない物質。

接触帯電

物質と物質が接触した際に発生する静電気で、あらゆる物質で発生する現象。

接地

電気機器と地面とを銅線などの導体でつなぐこと。また、その導体。大地と機器を同電位に保つことによって機器の電位が異常に上昇することを防いだり、雑音を低減したりする。

帯電

物体が電荷を帯びること。

帯電モニタ

キーエンス製除電器に搭載されている、対象物の帯電量を視覚的に表したモニタ。SJシリーズ全てに搭載。

帯電列

2種類の物質を互いに摩擦し正(＋)に帯電しやすい物質と、負(－)に帯電しやすい物質を順番に並べたものを、帯電列(帯電系列)という。
この帯電列上で順列が離れているものほど、帯電量が大きくなり、順列が近いほど帯電量が低いといわれている。(実際には、周囲の温度、湿度によって順列が入れ替わる場合もあり、あくまで一般的な見解)

ダウンフロー

クリーンルームなどで用いられている、部屋の上方から下方にかけて一定の風速で流れる気流。

タングステン

クロム族に属する遷移元素の一。元素記号W原子番号74。原子量183.84。重石として中国に多産する。光沢ある灰色の固体。融点は摂氏3410度と単体中最高で、電球・電子管のフィラメント・電極、また合金材料として用いる。

着火エネルギー

空気と混合した可燃性ガスのなかで火花放電が起こるとき、放電のエネルギーがあるしきい値をこえると着火し、爆発する。このしきい値を最小着火エネルギーという。

中性子

原子核の中にある、電荷を帯びていない粒子。

直流方式

除電器(イオナイザ)の電圧印加方式の一種で、電極針に対して直流(DC)の高電圧を印加する方式。別名：DC方式。

DC方式

除電器(イオナイザ)の電圧印加方式の一種で、電極針に対して直流(DC)の高電圧を印加する方式。別名：直流方式。

低分子シロキサン

シリコーン製品の主成分であるジメチルポリシロキサンの中で、低分子量で両端が合わさり輪になったものを環状ポリシロキサンと呼ぶ。この低分子シロキサン(環状ポリシロキサン)は、Siの数によりD3、D4、D5・・・と呼ばれ、Dの数が少ないほど分子量が小さいために揮発しやすくなる。但し、D3は非常に揮発しやすいため、シリコーン製品中には含まれていない。

電位

目的とする点(位置)が、基準となる物(大地、床、金属ケース等)又は点に対してどんな電圧であるかを示した値。

電位差

任意の2点間の電圧差を示した値。

電荷

帯電したものが持っている電気の量。陽子に比べて電子が多いと－、電子が少ないと＋となる。記号はQ、単位はCで表す。

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1. 電荷とクーロンの法則

電界

電荷が存在すると、同符号の電荷間には反発力が、異符号の電荷間には吸引力が働く。力の大きさは電荷間の距離の2乗に反比例する(クーロンの法則)。このように一方の電荷は他方の電荷に力を及ぼすので、電荷により電気的な影響を及ぼす場が空間中に作られることになり、これを電気の場、電場または電界と呼ぶ。また、電荷が運動すると電流が流れたという。

電荷密度

単位体積当たりの電荷の分布量(体積密度)。電荷を担うものとしては電子や原子核、イオンのような粒子(素粒子や正孔などを含む)であったり、仮想的に一様に分布する電荷のような場合もある。

電極針

除電器(イオナイザ)の高電圧を印加している針。この針の先端でコロナ放電が発生し、イオンが発生する。

電気力線

(line of electric force, electrical flux line)とは、ファラデーによって発明された、電気力の様子を視覚的に表現する為の仮想的な線をいう。

電子

原子を構成する素粒子で負の電荷を持つ。電子は固体の化学結合及び電気、磁気、光学的な諸性質において重要な働きを持つ。

電離

原子・分子が正または負に帯電すること。
または、電解質が溶液中で陰および陽イオンに解離すること。イオン化。

導体

電気を流すことができる物質のこと。

導電

電気を流す性質があること。

導電靴

導電性を持たせた靴。人体の帯電防止用に使用される。別名：静電気防止靴。

軟X線

通常のX線よりも波長の長い(エネルギーの低い)、X線。放射線の一種。

パーティクル

大気中に浮遊している微粒子や微生物。

剥離帯電

物質を引き剥がす(剥離)することによって発生する静電気。

バリアブルDC方式

除電器の印加電圧方式の一種で、キーエンス独自の印加電圧方式。通常のDC方式の場合は一定の電圧をかけ続けることになるが、その場合、電極針先端に汚れや磨耗が発生するとイオンバランスが崩れてしまう。バリアブルDC方式では、±の印加電圧を発生しているイオン量に応じて変化(コントロール)する方式。

パルスAC方式

除電器の印加電圧方式の一種で、キーエンス独自の方式。電圧の印加の仕方はほぼパルスDC方式と同じだが、明らかに違う点は、パルスDC方式の場合、＋の電圧を印加する電極と－の電圧を印加する電極が別々になっているの対して、パルスAC方式では１本の電極に＋、－の電圧を印加する点。これにより、バータイプの除電でも近距離で使用することが可能になっている。(1本の電極で±を切り替えるので、除電バー長手方向のイオンバランスが悪くならない。)

パルスDC方式

除電器の印加電圧方式の一種。ちょうど、DC方式とAC方式の良いところを抽出したような方式で、除電速度が速く、イオンバランスも良い。ただし、バータイプ除電器の場合、設置距離によっては、除電バー長手方向のイオンバランスが悪くなることがあるので、使用上注意が必要。

火花放電

電圧がある限界をこえると、電極間に火花が観察される現象で、不連続な過渡的現象の場合を指す。

ファラド

静電容量の単位。

＋イオン

プラスの電荷を帯びたイオン。最外殻にある電子が欠落した状態。

粉塵

気体中に浮遊する微小な固体粒子。ダスト。

粉塵爆発

粉塵の濃度が適当な範囲内にあると、火花・閃光などで引火して爆発すること。石炭微粉末による炭塵爆発のほか、穀物・砂糖・プラスチックなどの粉末による爆発など。粉体爆発。

粉体

粉状の物体。

HEPAフィルタ

定格流量で粒径が0.3μmの粒子に対して99.97％以上の粒子捕集効率をもつエアフィルタ。空気清浄が要求されるあらゆる分野で使用される超高性能フィルタ。

－イオン

マイナスの電荷を帯びたイオン。最外殻に電子が飛び込んできた状態。

摩擦帯電

物質をこすり合わせる(摩擦)することによって発生する静電気。

磨耗

繰り返し摩擦等が起こることによって発生する、形状の変化。

メンテナンス

保守、点検のこと。

誘電率

誘電率とは分極のしやすさ(蓄える電気量の大きさを示す)のことをいい、絶縁体としての性能を評価する一つの基準となっている。
コンデンサーの場合を例にとると、極板間に絶縁体を介在させて電圧を印加した場合、電気は通さないが分子内で正負の電荷が分離する分極という現象が起こることにより電気を蓄えられるようになる。このとき、蓄えられる電気量は電界の強さと極板の面積に比例して大きくなるが、この際の変化率のことを誘電率という。誘電率が高くなると蓄える電気量も大きくなる。一般的には、誘電率より比誘電率(絶縁体の誘電率と真空の誘電率との比がよく用いられている。比誘電率の値が小さいことが絶縁体に望まれる。また周波数および温度に依存する値であるため、使用上の注意が必要。

陽子

原子核の中にある、正の電荷を帯びた粒子。

リストストラップ

人体の帯電防止用の器具。