電子デバイス業界

ICチップのピックアップで静電破壊する

電子デバイス業界における静電気トラブルと、除電器による改善事例をご紹介します。

改善事例

ダイシングの後に詰め替え機にてICチップをピックアップします。ダイシングテープとICチップが剥離帯電し、ピックアップするときに電位が大きく上昇します。すると周囲の治具や他のチップに対して静電気放電が発生して静電破壊が起きてしまいます。

ダイシング：ウェハからICチップを切り出す工程

ピックアップ：切り出したチップを吸着ピンセットで持ち上げる操作

確実な不良品生産の防止と廃棄コストが削減できました。

改善・効果
現場の声

静電破壊による廃棄コスト 10万円/月×12ヶ月＝120万円/年

上記に加えて、除電器のメンテナンス工数も削減できました。