電子部品・電子デバイス業界
CMOSカバーガラスの高さ・傾き検査
CMOSカバーガラスの高さ・傾きを測定し、イメージセンサの組立品質を検査します。カバーガラスの傾きは、製品の品質・性能に影響するため、高精度な自動全数検査により、不良品流出を防止します。
従来の課題
スポットタイプの1次元レーザ変位計を用いて検査する場合、XYステージを精度よく動かすことで演算結果から正確な測定値が得られます。
しかし、正確に測定するにはステージの制御・駆動に高い精度が求められます。また、検査時間がかかるうえ、長期間安定して正確な数値を得ることが困難でした。
解決
白色干渉方式を用いた3D変位計であれば、対象物の材質・色・形状に影響されず、透明なカバーガラスであっても、瞬時に多点（10x10mmあたり最大8万点）の高さ・傾きを同時測定できます。
また、パッケージを基準面として、ライン上のワークの傾きを自動補正することで、検査対象であるカバーガラスの高さ・傾きの正確かつ安定した全数検査が実現します。
選定のポイント
“面で瞬時に高さ計測”する3D変位計「WI-5000シリーズ」は、
自動全数検査のさまざまな課題を3次元検査で解決します。
詳細はカタログをダウンロードしてご覧ください。